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제품소개

제품명
KCS2004H
모델명
150 ~ 200 Sorter
개요
본 장비는 150/200mm Wafer가 보관된 Carrier 간의 Wafer Dump, Sort, Split, Merge 등의 기능을 Factory Automation 또는 Manual로 수행

150/200mm Wafer 대응

l150/200mm Wafer 대응

Flat/Notch Edge 대응

Thin Wafer 대응 가능

2~4 Stages 선택 가능

생산성 : 600 Wafers/Hour

Small Foot Print

Sort/Split/Merge/Program/Manual 작업 기능

SECS/GEM 대응, Local Protocol 대응 가능